佛山加速夯实中试平台培育梯队 拟再添2家部级重点培育中试平台

近日，工业和信息化部公示第三批重点培育中试平台初步名单，广东共有8家平台入围，其中佛山占据两席，分别是依托广东中科半导体微纳制造技术研究院建设的“半导体材料外延与微纳加工中试平台”，以及依托佛山市顺德华工科技园有限公司建设的“先进功能材料制备与应用中试平台”。

　　工业和信息化部自2025年起系统化推进中试平台梯次培育体系，明确了“储备中试平台—部重点培育中试平台—国家级制造业中试平台”的进阶路径。纳入部重点培育名录，意味着该平台在战略定位、基础能力、服务成效等方面通过了国家层面的筛选，成为高水平中试平台的中坚力量。

　　佛山中试平台培育呈现加速态势，此次有两家平台入选。其中，“半导体材料外延与微纳加工中试平台”依托广东中科半导体微纳制造技术研究院建设，已建有2.3万平方米洁净实验室，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓晶圆加工能力，兼容2至6英寸晶圆尺寸。其服务覆盖GaN外延生长、芯片加工、器件测试到封装的全流程，直接对准光电子器件、功率器件、MEMS器件等半导体分立器件的工程化瓶颈。目标是建成产业技术源头创新及高技术成果转移、转化基地，形成“创新研发+公共服务+科技企业+专业基金+品牌活动”的半导体产业发展生态圈。

　　“先进功能材料制备与应用中试平台”由华南理工大学与顺德区校地共建，选址顺德陈村莱茵工业园，已建成8条成熟中试线。在半导体配套材料领域，该平台的氧化钇耐刻蚀涂层性能优于日本同类产品，已服务国内半导体装备国产化验证。目前累计对外服务企事业单位27家，孵化8家科技企业；还联合广东省国资粤财控股设立3亿元“华工科技成果转化基金”，联合顺德区国资设立10亿元新质生产力基金，形成“投早、投小、投硬科技”的资本体系。

　　两家平台恰好对应了制造业升级中亟待突破的环节，均为嵌入了产业真实需求的中试枢纽。前者有中国科学院苏州纳米所的技术基因与南海区的载体支撑，后者则背靠华南理工大学的学科资源与顺德区的产业基础。

　　市工业和信息化局介绍，在前两批工业和信息化部重点培育中试平台名单中，佛山已有广东美的制冷设备有限公司等6家平台入选。此次再添两家平台，体现了佛山中试平台培育梯队的厚度，将为佛山加快从制造大市向智造强市跃进提供更大助力。

文/记者王靓

(编辑：黄银华)