佛山新闻网讯 佛山市新闻传媒中心记者倪玉洁 通讯员方逸萍报道：近日，在佛山市半导体产业办公室推动下，国内原子层沉积（ALD）装备领军企业深圳市原速科技有限公司、化合物半导体MOCVD装备领军企业蓝河科技（绍兴）有限公司，同日签约落户南海区。
原速科技拟投资5亿元，在南海丹灶建设“新型显示ALD研发与装备制造基地”项目，重点攻关新型显示核心装备。蓝河科技落子南海桂城，拟投资2亿元建设MOCVD装备华南总部。
当前，全球半导体产业正处于人工智能全面赋能的结构性变革与高速增长新阶段，佛山将其作为重点布局的战略性新兴产业，由市科技局牵头组建半导体产业办公室。该产业办是佛山市今年6月组建的现代化产业体系七大关键产业办公室之一，旨在推动佛山打造粤港澳大湾区重要的特色半导体产业高地。
据了解，原速科技是国内原子层沉积（ALD）设备领军企业和专精特新“小巨人”企业，其ALD技术可实现“原子级”精密镀膜，是国内少数通过维信诺等头部企业产线验证的企业。蓝河科技是国内目前唯一可提供全材料体系MOCVD装备的企业，致力于化合物半导体装备创新与国产化，在氧化镓、砷化镓太阳能电池、特种外延领域国内领先。
市委常委、副市长徐薇表示，市区两级设立了产业引导基金和人才科创基金，联动国家、省基金形成多维度支持体系。接下来，佛山将持续健全服务机制，精准回应企业关切，持续优化产业生态，积极对接高校资源，协助开拓市场订单，政企研学用协同发力，护航企业在佛山扎根成长。
(编辑：黎锦燕)